AWM5000系列微橋氣體質量流量傳感器
AWM5000系列微橋氣體質量流量傳感器
常用型號:
AWM5101
AWM5102
AWM5103
AWM5104
描述 :
在線流量測量 AWM5000 系列微橋氣體質量流量傳感器采用文丘里管式外殼,可測量流速高達 20SLPM,且引發的壓降不超過 2.25英寸水柱。微橋芯片直接接觸氣流,*地降低了由于通孔或旁路堵塞而引起誤差的可能性。
封裝堅固通用堅固的塑封設計可承受高達 50psi 的共模壓力。內部的小型傳感元件可經受 100gs 的沖擊且對性能無影響。自帶AMP 兼容連接器,在高要求應用場合可實現可靠的連接。
內置信號調理電路每款 AWM5000 傳感器均帶有涵蓋放大、線化、溫度補償、及氣體標定功能的電路系統。發熱控制電路和傳感橋電路和放大線化電路顯示了 AWM5000 系列內置的電路系統。所有型號均可提供 1 至 5 VDC 的線性輸出,而無需考慮流量范圍(5、10、15、或 20SLPM)或標定氣體(氮氣、二氧化碳、一氧化二氮、或氬氣)。標定均通過有源激光校準完成。
特點
● 線性電壓輸出
● 文丘里管設計
● 遠程安裝功能
● 有源激光校準,互換性更高
● 多種標定氣體類型 :
- 氬氣
- 氮氣,或
- 二氧化碳
注 :
1. 線性度指標適用于 2-* 滿量程的氣流范圍,不適用于 0 SLPM 時零點輸出的情況。
2. 在 50 psi 的共模壓力下,AWM5000 系列產品每分鐘泄露低于 0.1 psi。若安裝過程中與流量管相接的配接頭發生扭曲,O 型圈與流量管之間的密封可能會被破壞,從而引發暫時性的泄漏。該種泄漏可能達到 1 psi,也可能仍保持在指標范圍內。更換 O 型圈后密封會恢復。約 85% 的泄漏會在 24 小時內逐漸消除。48 小時內可*恢復。
3. SLPM 即標準公升每分鐘流量值,是一種流量單位,其規定標準條件為 0℃ /1 bar ( 水平面 )、50% 相對濕度。
連接器訂購指南
注 :在標定氣體相應給定的流量范圍內,所有型號均可通過 10 VDC 供電實現 1-5 VDC 的線性輸出。
1. 氮氣標定同氧氣和大氣標定。
2. 二氧化碳標定同一氧化二氮標定。