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氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是把轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮起來(lái)進(jìn)行非接觸式旋轉(zhuǎn)，這種懸浮是軸承腔內(nèi)導(dǎo)入的空氣壓力來(lái)實(shí)現(xiàn)的，泄壓的縫隙特別小，獲得了較高的軸向和徑向跳動(dòng)誤差。應(yīng)用于晶圓加工與檢測(cè)、生物檢測(cè)、高精度計(jì)量、光學(xué)檢測(cè)和制造以及MEMS/納米技術(shù)設(shè)備制造等行業(yè)。

瑞邦精控氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的特點(diǎn)：

1.     閉式氣浮結(jié)構(gòu)；

2.     精準(zhǔn)回零位置；

3.     軸向跳動(dòng)高達(dá)10nm；

4.     手動(dòng)和電動(dòng)旋轉(zhuǎn)時(shí)軸向和徑向跳動(dòng)誤差一致；

5.     高速穩(wěn)定性；

6.     解決氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)抱死的問題；

7.     使用壽命10年以上；

8.     作為A軸可臥式使用。

對(duì)氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，氣浮軸承表面和創(chuàng)新的預(yù)壓高剛度，承載能力大，可側(cè)向放置使用，解決氣浮抱死的問題。優(yōu)秀的軸向和徑向誤差運(yùn)動(dòng)，較小的傾角誤差，以及由此產(chǎn)生的性能明顯優(yōu)于其它氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)和主軸。

氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)可定制滑環(huán)或氣路接頭，滿足高速度穩(wěn)定性或高精度慣性導(dǎo)航測(cè)試的應(yīng)用。由于氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)徑向剛度大，可定制成AC軸，滿足曲面微加工或測(cè)試的應(yīng)用，斷電旋轉(zhuǎn)和自動(dòng)旋轉(zhuǎn)時(shí)跳動(dòng)誤差保持一致。